テストソリューション
光電子デバイスは光電変換効果を利用した様々な機能素子で構成され、光学デバイスは光電チップ・光学部品・光学モジュールに分類可能です。光電子デバイスの種類には光電管・光電子増倍管・光抵抗器・フォトダイオード・フォトトランジスタ・光電池・フォトカプラ・LED(発光ダイオード)・LD(レーザーダイオード)・光検出器などがあります.
光電子性能試験には通常、以下の側面が含まれます：
1.光電応答特性試験：光電素子に光源を照射し、光信号に対する応答を測定します。これには光電流、光電圧、光電変換効率などの試験パラメータが含まれます。
2.分光特性試験：光電素子の異なる波長範囲での応答を測定し、異なる波長の光信号に対する感度と選択性を評価します.
3.素子パラメータ試験：光電素子の抵抗、容量、インダクタンスなどの電気的特性を測定し、その電気的性能を評価します.
4.応答時間試験：光電素子の光信号に対する応答速度を測定し、立ち上がり時間、立ち下がり時間などのパラメータを評価します.
現在広く課題となっているのは、光チップレベルでの効率的な試験方法です。光チップ試験では、結合効率の低さ、結合損失の大きさ、試験手法の自動化不足などが共通の問題となっています。特に非動作条件下でのストレステストでは、長時間にわたる高温・低温環境を確保する必要があります。Micro-LED高密度集積LEDアレイの場合、画素間隔が10マイクロメートルオーダーとなるため、高解像度・高倍率の顕微鏡が必須です。プローブやプローブホルダーなどの部品には極めて高い精度が要求されます.
マイクロLED
移動精度0.7μm、リーク電流精度10pA以内
1、ウェーハをチャックに設置し真空吸着を開始、ゴム手袋を装着してウェーハを微調整し吸着状態を確認;
2、チャックの空圧制御移動を調整後、顕微鏡下部中央位置にスムーズに設置;
3、適切な対物レンズを選択し焦点調整、ディスプレイにウェーハの鮮明な画像が表示されるまで調整;
4、プローブホルダーを操作してプローブ位置を調整、対応するPADに正確に接触させる;
5、治具ケーブルとテスターの接続状態を確認、サンプルポイントのPN極接続後に電流または電圧を印加.
1、テストポイントの正確かつ迅速な位置決め
2、テスト終了後、正確かつ迅速に次のテストポイントへ移動
3、スムーズな空圧駆動による移動操作
