マスクカット修復装置 L14
製品概要
L14シリーズマスクレーザーカット修復装置は、主にフォトマスク使用時に発生する欠陥の修復に用いられます。装置のコアにはSEMISHAREの先進的なマシンビジョンシステムを搭載し、高価値フォトマスクの欠陥に対して高精度かつコスト効率に優れた修復ソリューションを提供することで、企業の生産コストと運用コストの削減を実現します。
基本情報
| 製品番号 | L14 | 作業環境 | オープンタイプ |
| 電力需要 | AC 220V ±5% 50Hz | 制御方法 | 手動式 |
| 製品サイズ | カスタマイズ可能 | 機器重量 | カスタマイズ可能 |
応用方向
特定材料層の精密切断や除去が必要なアプリケーションシナリオ向け。
技術的特徴
マスクカット修復装置 L14
●クロム、シリコン、窒化シリコン、石英、EUV材料、異物粒子および頑固な未知粒子を含む様々な材料の修復に対応可能。
●マスクの他の部分に影響を与えることなく、欠陥部分を精密に除去または修復できます。
●顧客のニーズに応じてカスタマイズ製品を提供可能。
