SRシリーズ 全自動四探針式方形抵抗テストシステム
製品概要
四探針式方形抵抗テストシステムは、信頼性が高く操作が簡便といった利点を備えた高精度測定装置です。マイクロエレクトロニクスデバイスの設計・生産・品質管理において極めて重要な意義を持ちます。
基本情報
| 製品番号 | SR8/SR12 | 作業環境 | 常温／高温対応、シールド仕様 |
| 電力需要 | / | 制御方法 | 全自動式 |
| 製品サイズ | カスタマイズ可能 | 機器重量 | カスタマイズ可能 |
応用方向
半導体材料、太陽電池材料（シリコン、多結晶シリコン、炭化ケイ素など）、新素材、機能性材料（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤなど）、導電性薄膜（金属、ITOなど）、シリコン関連薄膜（LTPSなど）、拡散層テストなど（※詳細はお問い合わせください）。
技術的特徴
SRシリーズ全自動四探針式方形抵抗測定システム
●SR8は6/8インチウェハ、SR12は8/12インチウェハに対応
●生産ラインの全自動テスト性能に基づき設計され、高いテスト効率を保証
●シングル/ダブルプローブ構成で、様々なアプリケーションシナリオに対応
●オプションでSECS/GEM工場通信プロトコル対応可能
●ASTMおよびJIS産業規格に準拠
