Mシリーズ 基本手動プローブステーション
製品概要
大学教育および研究所向けの基本型ウェハプローバで、主に半導体産業や光電産業のテストに適用されます。複雑な高速デバイスの研究開発用精密電気測定、チップおよびLD/LED/PDテスト、PCB/パッケージデバイステスト、RFテスト、50ミクロン以上の電極/PADテスト材料/部品のIV/CV特性試験などに対応しています。
基本情報
| 製品番号 | M4、M6、M8 | 作業環境 | オープン型 |
| 電力需要 | 220V,50~60Hz | 制御方法 | 手動プローブステーション |
| 製品サイズ | M4、M6：650*490*620mm M8：766*500*651mm | 機器重量 | M4：about 45kg M6：about 52kg M8：about 90kg |
応用方向
本装置は主に半導体・光電子産業におけるテスト向けで、複雑な高速デバイスのR&DチップテストやLD/LED/PDテスト、PCB/パッケージデバイステスト、50ミクロン以上の電極/PADテスト材料/デバイスのIV/CV特性試験などに対応しています。
技術的特徴
> 新設計改良型チャック可動プラットフォーム
密閉型可動プラットフォーム設計で防塵・誤操作防止・美的構造を実現。 移動プラットフォームはTHK精密リードスクリュー駆動＋直線移動＋バックラッシュ無し設計＋チャックロック機能を採用し、多方面でチャック移動精度を向上させています。
> 3段階真空吸着制御対応チャック
中央真空吸着穴と3重真空吸着リングでサンプルを固定。チャックの各真空チャンネルは独立制御可能で、標準チャックの中央吸着穴径は1mm。チャック角度は360度回転可で、微調整精度はお客様の要求に応じ0.002度まで対応可能なため、テストサンプルの位置調整が容易です。
> POMater™ 適応型防振ベース
この適応型防振ベースはドイツ製防振材を採用し、弾性支持を強化することで様々な剛性・硬度・負荷範囲に対応。環境中の振動源干渉を効果的に遮断し、プローブ先端とサンプルパッド間の安定接触を確保、テストの安定性を向上させます。
