製品概要
SEMISHARE CGX半自動真空高低温度プローブステーションは、研究開発および特殊生産用途向けに設計された装置です。真空環境下での単一ウェハに対する高速・高精度テストが可能で、温度範囲は液体窒素使用時77K～450K、液体ヘリウム使用時10K～450Kに対応しています。
基本情報
| 製品番号 | CGX8 | 作業環境 | 真空高低温度環境 |
| 電力需要 | AC220V,50~60HZ | 制御方法 | 半自動式 |
| 製品サイズ | 1150*1450*1800mm | 機器重量 | 約1000kg |
応用方向
サンプル分類別対応：ウェハテスト、LEDテスト、パワーデバイステスト、MEMSテスト、PCBテスト、液晶表示パネルテスト、太陽電池パネルテスト、表面抵抗率テスト。 アプリケーション分類別対応：RFテスト、高温環境テスト、低電流(100fAレベル)テスト、I-V/C-V/P-IV特性テスト、高電圧・大電流テスト、磁場環境テスト、放射線環境テスト。
技術的特徴
独自開発のソフトウェア統合システムで、より高い互換性を実現
●半自動制御対応（手動/自動テスト切替可能）
●自動ウェハ較正、ウェハマッピング、ダイサイズ測定、アライメント、テストデータのリモートアクセス機能
●RFプローブモジュールワンクリック自動較正＆プローブ自動クリーニング機能搭載
●4軸チャック精密較正ワンクリック自動化、マイクロメーターレベルのパッドポイントテスト対応
●単発テスト/連続テスト切替可能
●強力なデータ保存・処理能力
●テスト結果のBIN値分類とNGデバイス識別機能
●OS・アプリケーションシステム・デバイステストシステムの個別アップグレード可能なマルチシステム統合能力
エアフィルム式防振システム
業界唯一の高性能エアフィルム式防振システムを内部に統合し、外部遮断バリアとの二重設計により、操作員の接触による振動を効果的に防止。さらに、長期間経年変化の少ない鋳物を基盤として採用し、業界最速1秒の動作プロセスにおける振動を抑制。装置の安定動作を確保するとともに、2000倍拡大時の画像揺れを防止します。同時に、高精度制御バルブによりプラットフォーム可動部の高さ誤差を0.1mmに保ち、高速ダイトゥダイテスト能力を実現。システム全体が高速移動時でも安定した動作状態を維持でき、テスト効率を大幅に向上させます。
業界をリードする3倍イメージング技術
12:1高速精密電動ズーム顕微鏡、ズーム範囲0.6～7.2倍、画像解像度3.05μm、総合倍率範囲33～396倍に対応。
業界最高効率のCHUCKシステムで、テスト効率が大幅に向上
●高効率CHUCKテストシステム：動作速度≥40mm/s、動作精度≤±1μm、位置決め時間500msと、業界最高水準のシステム動作パラメータを達成。超高精度テストと高効率化により、各種ウェハ・デバイスの高再現性・安定性テストを実現し、テスト効率を大幅に向上
●温度制御精度±0.1℃以下を保証し、高低温度環境下での信頼性あるウェハテストを提供
●低重心4次元モーションのコンパクト構造設計により、40mm/sの動作速度を維持しながら加減速時の安定性を確保
