테스트 솔루션
최근 RF 반도체 산업의 급속한 발전과 함께 RF 마이크로파 기술은 무선 셀룰러 통신, 위성 통신, GPS 위치 추적, 내비게이션, 차량 레이더, 지능형 전자 요금 징수 시스템, 군사 통신 등 다양한 분야에서 널리 활용되고 있습니다. 또한 많은 도시에서 5G 네트워크를 개통하여 지속적으로 확장하고 있습니다. 웨이퍼 레벨 RF 및 밀리미터파(RF & MmW) 특성 분석은 RF 및 밀리미터파 집적 회로 설계 디버깅과 고효율 반도체 소자 모델링의 핵심 요소입니다. 웨이퍼 레벨 RF 테스트 장비(예: 벡터 네트워크 분석계, 고주파 임피던스 튜너, 커플링 장치, Bias-Ts 등 다양한 시스템 구성 요소)의 설치와 통합은 높은 복잡성과 특수성을 요구하기 때문에, SEMISHARE는 정밀한 측정을 위해 상당한 노력을 기울이고 있습니다.
RF 측정 수요는 주로 RF 전력 및 RF 노이즈 특성, 신호 크기 측정, S 파라미터, 신호 소스, 로드 풀, 임피던스 매칭 등 다양한 응용 분야를 포괄합니다. 이러한 응용 분야는 프로버 시스템에 다음과 같은 도전 과제를 제기합니다: 기계적 안정성, 최단 전송 경로, 최적의 측정 방향 확보, 다양한 유형의 테스트 대상 금속에 대한 장시간 반복 측정, 높은 일관성을 갖는 스팟 측정 능력, 그리고 테스트 대상물의 끝부분까지 정확한 보정 가능 여부 등이 주요 과제입니다.
마이크로파 소자의 S파라미터 측정을 위한 파장 비율 테스트 수행. 진폭, 위상 지연 등 다양한 테스트 포함.
1.척 크기 6인치 이상, X-Y-Z 이동 스트로크 각각 150mm/150mm/10mm 이상. 수동 및 반자동 제어 모드 호환. 해당 정밀도 0.1μm/0.1μm/0.1μm. 세타 축 전기 회전 5°, 정밀도 0.001°。2.척은 독립적인 흡착 홀과 다중 링 샘플 방식을 채택. 각각 독립 제어 가능. 흡착 홀 직경 500μm 이하 선택 가능. 최대 호환 크기 50.8mm×50.8mm, 50mm×60mm, 60mm×70mm 세라믹 조각 및 단일 소형 샘플(흡착 홀 직경보다 큰 소형 샘플) 동시 장착 가능. 흡착 컵 고정장치 장착. 3가지 크기의 다공성 세라믹 조각 흡착 테스트를 위한 표시된 위치 고정 기능 보유.
