제품 개요
CG 런치드 시리즈는 국내 최초로 자체 개발한 고저온 진공 프로버입니다. 초고진공, 자동 제어, 레이저 시뮬레이션 분야에서 SEMISHARER의 독보적인 기술적 우위를 보유하고 있으며, 이는 SEMISHARE가 다년간 축적한 혁신 기술의 결실입니다.
프로파일
| 제품 번호 | CG-O-4 | 작업 환경 | High and low temperature vacuum environment |
| 전력 요구 사항 | AC220V,50~60HZ | 제어 방식 | Manual Probe Station |
| 제품 크기 | 1100mm*1100mm*530mm | 장비 무게 | About 190 kg |
응용 분야
칩 테스트, LD/LED/PD 테스트, 광섬유 스펙트럼 특성 테스트, 소재/소자 IV/CV 특성 테스트, 홀 테스트, 전자기 수송 특성, 고주파 특성 테스트 등
기술적 특성
진공 챔버
진공 챔버는 이중 차폐 캐비티와 외부 캐비티 구조를 채택하여, 분자 펌프 사용 시 10-4Pa의 극저진공 환경에서 샘플 테스트가 가능합니다. 이는 저온 테스트 시 공기 중 수증기가 샘플에 결로되는 것을 방지하고, 과도한 누설이나 프로브가 전극에 접촉하지 못해 테스트가 실패하는 것을 막아줍니다. 또한 진공 단열 효과로 냉동 효율을 효과적으로 제공하며, 고온 테스트 시 공기 중 산소에 의한 샘플 산화를 방지하고, 샘플의 물리적·기계적 변형으로 인한 전기적 오류를 예방합니다.
프로브 암 XYZ 조절 메커니즘
프로브 암 XYZ 조절 메커니즘은 자동 잠금 리드 스크류와 크로스 롤러 가이드 레일 구조를 채택하여 프로브의 10μm 정밀 포지셔닝을 구현합니다. 프로브 드리프트는 60nm/30mins의 고정밀 포인트 니들보다 우수한 성능을 보입니다. 동시에 3축 튜브형 클램프 및 고차폐 기능의 3축 케이블을 적용하여 50FA(펨토암페어) 수준의 누설 테스트 정확도를 달성했습니다.
현미경 조절 메커니즘
현미경 조절 메커니즘은 지지 프레임의 신축 높이와 현미경 조절 가능한 좌석을 조정함으로써, 샘플의 모든 영역에서 20배 접안렌즈와 0.8-5배의 대물렌즈 줌 비율을 관찰할 수 있어, 샘플에 대한 16배-100배의 확대 비율을 구현합니다.
냉매 유량 조절 시스템
냉매 조절 시스템은 듀어 탱크 내 압축 질소의 압력 제어 밸브와 정밀 조절이 가능한 니들 밸브로 구성되어 저온을 제어합니다. 듀어 탱크 내 압력은 압축 질소 압력 제어 밸브를 조정하여 조절되며, 이는 냉매 유출 압력을 통제함으로써 냉매 유량을 조정합니다. 정밀 니들 밸브를 조절하여 냉매 유량을 정밀하게 제어함으로써, 궁극적으로 정확한 저온 제어 기능을 구현합니다.
냉매 동축 루프
냉매 동축 회로는 냉매가 중앙 라인을 통해 샘플 세트로 유입되어, 차폐 캐비티 하부 챔버를 통과한 후 외부 동축 환류 관으로 되돌아가며, 최종적으로 배기구를 통해 실외로 배출됩니다. 이 냉매 동축 회로는 냉매가 배출 과정에서 팽창하도록 하여 상대적으로 훨씬 낮은 실온 환경을 조성하며, 샘플 세트로 유입되는 냉매의 사전 소모를 억제합니다. 이를 통해 냉매의 냉동 효율을 향상시키고 냉매 소비량을 줄입니다.
방진 플랫폼
방진 시스템은 한국 대기업의 에어 스프링 타입 브레이스 방진 플랫폼을 도입하였으며, 에어 스프링 소재의 챔버 용적과 보조 탱크 용량, 댐핑 개구 및 수평 조정기 등 일련의 서스펜션 설계를 통해 시스템 고유 진동수 1.5Hz, 수직 수준 고유 진동수 1.2Hz의 낮은 자연 진동수를 구현하였습니다. 400kg의 우수한 하중 지지력으로 테스트 시 발생하는 저주파 대역의 진동을 효과적으로 차단합니다.
