제품 개요
대학 교육 및 실험실용 테스트 웨이퍼 프로버를 기반으로 한 베이직스 타입으로, 본 장비는 반도체 산업은 물론 광전자 산업의 테스트에 주로 적용됩니다. 여기에는 복합 고속 소자의 정밀 전기 측정 연구 개발, 칩 및 LD/LED/PD 테스트, PCB/패키징 소자 테스트, 50마이크론 전극/PAD 테스트 소재/부품의 RF 테스트 및 CV/IV 특성 테스트 등이 포함됩니다.
프로파일
| 제품 번호 | M4、M6、M8 | 작업 환경 | Open type |
| 전력 요구 사항 | 220V,50~60Hz | 제어 방식 | Manual probe station |
| 제품 크기 | M4、M6：650*490*620mm M8：766*500*651mm | 장비 무게 | M4：about 45kg M6：about 52kg M8：about 90kg |
응용 분야
본 장비는 반도체 및 광전자 산업 분야의 테스트에 주로 사용되며, R&D 칩 및 고속 복합 소자의 LD/LED/PD 테스트, PCB/패키지 소자 테스트, 50마이크론 이상의 전극/PAD 테스트 소재/소자의 IV/CV 특성 측정 등을 포함합니다.
기술적 특성
> 신규 업그레이드된 척 이동 플랫폼
밀폐형 이동 플랫폼 설계로 방진 및 오조작 방지, 구조적 미관 구현 THK 정밀 리드 스크류 구동 + 선형 운동 + 백래시 없는 왕복 차동 설계 + 척 고정 기능 적용을 통해 다방면에서 척 이동 정밀도를 향상시켰습니다.
> 3단계 진공 흡착 제어 기능을 탑재한 척
중앙 진공 흡착 구멍과 3중 링 진공 흡착 링으로 시편을 고정합니다. 척의 각 진공 채널은 독립적으로 제어 가능하며, 표준 척의 중앙 흡착 구멍 직경은 1mm입니다. 척 각도는 360도 회전이 가능하며, 고객 요구에 따라 미세 회전 정밀도를 0.002까지 조정할 수 있어, 시험할 시편의 위치 조정이 용이합니다.
> POMater™ 적응형 충격 흡수 베이스
자체 개발 적응형 쇼크 흡수 베이스는 독일산 쇼크 흡수 소재를 적용하여 탄성 지지를 강화했습니다. 이를 통해 다양한 강성, 경도 및 하중 범위를 구현하며 환경의 진동원 간섭을 효과적으로 필터링합니다. 프로브 끝단과 시편 패드의 안정적인 접촉을 보장하여 테스트 안정성을 향상시켰습니다.
