마스크 LCVD 수리 장비 LD14

마스크 LCVD 수리 장비 LD14

제품 개요

마스크 LCVD 수리 장비는 주로 레이저 유도 화학 기상 증착(LCVD) 기술을 이용해 마스크의 결함을 수리합니다. SEMISHARE LD14 시리즈는 다양한 증착 두께 범위와 높은 수리 정밀도를 제공합니다. 서브미크론 수준의 레이저 정밀도로 극소 피치 마스크의 결함도 효과적으로 처리 가능하며, 고가치 마스크 결함에 대해 고정밀/저비용 수리 솔루션을 제공함으로써 기업의 생산 및 운영 비용을 크게 절감시켜 줍니다.

프로파일

제품 번호	LD14	작업 환경	Enclosed
전력 요구 사항	AC 220V ±5% 50Hz	제어 방식	Full-automatic
제품 크기	Customizable	장비 무게	Customizable

응용 분야

마스크 상의 결손 부분 채우기 또는 패턴 수리에 사용 가능합니다. 본 기술은 개방 회로 및 단락 회로 등의 문제 수정에 주로 활용됩니다.

기술적 특성

마스크 LCVD 수리 시스템 LD14

●두께와 규격 차이가 큰 제품도 제품 교체 시 수동 조정 불필요, 장비가 자동으로 디포지션 헤드 높이 조정 가능.
●배기 가스 회수 처리 시스템은 수십 겹의 고온 필터를 적용해 분해된 배기 가스의 유해 성분을 효과적으로 포집한 후 냉각시켜 공장 배기 시스템으로 배출.
●고객 요구에 따라 맞춤형 제품 제공 가능.

Project	Description
Processing time (1 defect/piece, including positioning time)	15 s
Panel size range	5”-14”
Panel thickness	0.1-5mm
Motion resolution	±0.1μm
Repeat positioning accuracy	±1μm
Slit accuracy	≤±1μm
Autofocus objective lens switching center offset	≤±1μm
Deposition parameters	Deposition mode:Scan and Step
	Deposition shape: rectangular and circular, length, width, side length or diameter The actual size of the spot can be adjusted and displayed by software
	Step deposition rectangle size range: 3μm3μm~30μm30μm, adjustment accuracy 1μm
Deposition edge accuracy	±0.5μm
Deposition thickness	2000 Å ~15000Å adjustable
Maximum total power	3.5KW
	AC 220V ±5% 50Hz
UPS	1000VA/500W 3-20 minutes (half load)
Consumables	Compressed air CDA (0.6Mpa, 0~1L/min)
	High purity argon Ar (0.6Mpa, 0~5L/min)
	High purity Cr(CO)6 (purity higher than 99.8%) High purity W(CO)6 (purity higher than 99.8%) or Mo(CO)6 (purity higher than 99.8%)
Size	123013902410
Computer configuration	i5-6500CPU, 8GDDR4 memory, 128G solid state drive + 1T mechanical hard disk, 300W industrial-grade power supply, beta version win1064-bit system, PCIeX16, PCIeX4, PCI slot X5, motherboard Gigabit network port X2, serial port X6

이름：
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국가*：
내용：

프로브 스테이션 시스템

테스트 시스템

레이저 수리 시스템

테스트 서비스

액세서리