테스트 솔루션
웨이퍼(CV, IV, P-IV) 테스트는 반도체 파라미터 측정에 광범위하게 활용되며, 특히 웨이퍼 레벨 MOSFET 구조 분석에 사용됩니다. CV, P-IV, IV 측정은 다른 유형의 반도체 소자 및 공정 특성 분석에도 적용 가능합니다. 이에는 바이폴라 접합 트랜지스터(BJT), JFET 소자, 유기 광전지, MEMS 소자, TFT 모니터, 포토다이오드, 탄소 나노튜브 등 다양한 반도체 소자의 기본 특성 측정이 포함됩니다. 이 방법은 공정 성능 향상, 장치 테스트 공정 파라미터 최적화, 실패 메커니즘 분석 등 다양한 응용 분야에 매우 적합합니다.
최근 몇 년간 우리나라의 반도체 산업에 대한 인식과 자원 투자가 증가하면서 대학 실험실의 하드웨어 업그레이드가 주요 과제로 부상했습니다. 그러나 대학 교육의 예산 제약으로 인해 비용 효율적인 솔루션이 필수적입니다. 따라서 제한된 예산 조건 하에서도 고정밀도의 테스트 및 측정 기준을 충족시킬 뿐만 아니라, 향후 제품의 재사용률을 고려해 자원 낭비를 방지해야 합니다. 시장 경험과 다년간의 대학 협력 경험을 바탕으로, 교육용 실험 프로브 장비가 갖추어야 할 주요 지표를 다음과 같이 정리했습니다.
● 대학 실험실 환경 요구사항에 기반하여, 고정밀 테스트를 보장하면서도 공간 절약이 가능한 장비 설계.
● 전문적인 테스트 기준의 품질을 저하시키지 않는 전제 하에, 더 경쟁력 있는 가격의 프로브 테이블 장비 제공.
● 조작이 더 쉬운 시스템
● 운영 교육에 필요한 작업량 최소화
● 안정적인 구조와 높은 테스트 정확도
● 신속한 측정 데이터 획득
● 모듈식 커스터마이징으로 다양한 응용 분야에 맞춰 손쉽게 재구성 및 업그레이드 가능.
● S강력한 적응성 - 성능 향상 및 기능 추가 필요 시 장비 업그레이드 및 기능 확장 가능.
>SEMISHARE M6 Wafer Probe (16-100x optical magnification)+자세한 내용
6인치 웨이퍼 I-V, C-V 곡선, P-IV 테스트.
40마이크론 이상 전극 포인트 측정, 10pA 이내 누설 정확도.
