SR 시리즈 완전 자동식 4-탐침 방식의 면저항 측정 시스템
제품 개요
4-탐침 방식의 면저항 측정 시스템은 높은 정밀도를 가진 테스트 장비로, 신뢰성 우수 및 조작 간편 등의 장점이 있으며, 마이크로전자 장치의 설계, 생산 및 품질 관리에 매우 중요합니다.
프로파일
| 제품 번호 | SR8/SR12 | 작업 환경 | room/high temperature, shielded |
| 전력 요구 사항 | / | 제어 방식 | Full-automatic |
| 제품 크기 | Customizable | 장비 무게 | Customizable |
응용 분야
반도체 재료, 태양전지 재료(실리콘, 폴리실리콘, 탄화규소 등), 신소재, 기능성 재료(탄소나노튜브, DLC, 그래핀, 은 나노와이어 등), 전도성 필름(금속, ITO 등), 실리콘 계열 필름(LTPS 등), 확산층 테스트 기타 (*자세한 내용은 문의 바랍니다)
기술적 특성
SR 시리즈 완전 자동 4-프로브 정전류 저항률 테스트 시스템
● SR8은 6/8인치 웨이퍼 호환, SR12는 8/12인치 웨이퍼 호환.
● 생산라인 완전 자동 테스트 성능 기준 설계로 높은 테스트 효율 보장.
● 단일/이중 프로브 구성으로 다양한 적용 시나리오 대응.
● SECS/GEM 공장 통신 프로토콜 옵션 제공.
● ASTM 및 JIS 산업 표준 준수.
