마스크 커팅 수리 장비 L14
제품 개요
L14 시리즈 마스크 레이저 커팅 및 수리 장비는 포토마스크 사용 중 발생하는 결함 수리에 주로 사용됩니다. 본 장비의 핵심은 SEMISHARE의 고급 머신 비전 시스템으로, 고가치 포토마스크 결함에 대해 고정밀도이면서도 비용 효율적인 수리 솔루션을 제공함으로써 기업의 생산 및 운영 비용 절감에 기여합니다.
프로파일
| 제품 번호 | L14 | 작업 환경 | Open Type |
| 전력 요구 사항 | AC 220V ±5% 50Hz | 제어 방식 | Manual |
| 제품 크기 | Customizable | 장비 무게 | Customizable |
응용 분야
특정 물질 층의 정밀한 커팅 또는 제거가 필요한 적용 시나리오
기술적 특성
마스크 커팅 수리 시스템 L14
●크롬, 실리콘, 질화 실리콘, 석영, EUV 재료, 이물질 및 완고한 미확인 입자 등 다양한 재료의 수리가 가능합니다.
●마스크의 다른 부분에 영향을 주지 않고 결함 영역을 정밀하게 제거하거나 수리할 수 있습니다.
●고객 요구에 따라 맞춤형 제품을 제공할 수 있습니다.
