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Produktübersicht Funktionsstruktur Technische Spezifikationen Downloads
SR Vollautomatisches Vier-Probe-Widerstandsmesssystem

Product Overview

Das Vierpunkt-Widerstandstest-System ist ein hochpräzises Messgerät, das hohe Zuverlässigkeit und einfache Bedienung bietet und von großer Bedeutung für das Design, die Produktion und die Qualitätskontrolle von Mikroelektronikgeräten ist.

Basisinformationen

Produktnummer SR8/SR12 Arbeitsumgebung room/high temperature, shielded
Stromanforderungen / Steuerungsmodus Full-automatic
Produktabmessungen Customizable Gerätegewicht Customizable

Anwendungsbereich

Halbleitermaterialien, Solarzellenmaterialien (z. B. Silizium, Polysilizium, Siliziumkarbid), Neue Materialien und Funktionsmaterialien (z. B. Kohlenstoffnanoröhren, DLC, Graphen, Silbernanodrähte), Leitfähige Dünnschichten (Metalle, ITO), Siliziumbezogene Dünnschichten (z. B. LTPS), Diffusionsschichttest, Weitere Anwendungen (*Bitte kontaktieren Sie uns für Details*)

Technische Merkmale

Technische Merkmale

● SR8 kompatibel mit 6-/8-Zoll-Wafern, SR12 kompatibel mit 8-/12-Zoll-Wafern
● Vollautomatisches Design für hohe Testeffizienz
● Einzel-/Doppelnadel-Konfiguration für unterschiedliche Anwendungsszenarien
● Optional mit SECS-/GEM-Protokoll für die Fabrikkommunikation
● Entspricht den ASTM- und JIS-Standards

Title

Model

SR8/SR12

Sample size

<Circle>  150mm(6inch), 200mm(8inch), 300mm(12 inch)

<Square> 730x920mm or customer design

Test range

[R] 1μ~3M Ω・cm

[RS] 5m~10M Ω/sq

Loadport

Single/dual port

Probe

Single/dual probes

Industry standards

ASTM and JIS

Communication Interface

SECS/GEM

Function Configuration

Clean Pad, E1/E2 Cameras, Temperature Chuck, Wafer Thickness Test, etc.



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