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Masken-Reparaturgerät L14

Product Overview

L14-Serie Masken-Laser-Schneid- und Reparaturgeräte dienen hauptsächlich zur Reparatur von Defekten, die während der Verwendung von Masken auftreten. Das Gerät basiert auf dem führenden maschinellen Bildverarbeitungssystem von SEMISHARE und bietet hochpräzise Reparaturlösungen für Masken-Defekte, um die Produktionskosten der Unternehmen erheblich zu senken.

Basisinformationen

Produktnummer L14 Arbeitsumgebung Open Type
Stromanforderungen AC 220V ±5% 50Hz Steuerungsmodus Manual
Produktabmessungen Customizable Gerätegewicht Customizable

Anwendungsbereich

Anwendungsszenarien, die präzises Schneiden oder Entfernen spezifischer Materialschichten erfordern.

Technische Merkmale

Masken-Reparaturgerät L14

● Kann verschiedene Materialien wie Chrom, Silizium, Siliziumnitrid, Quarz, EUV-Materialien, Fremdpartikel und hartnäckige unbekannte Partikel reparieren.
● Kann Defektbereiche präzise entfernen oder reparieren, ohne andere Teile der Maske zu beeinträchtigen.
● Anpassbare Produkte gemäß Kundenanforderungen.

Title

Stage

Size

500mm*320mm

X-Y Travel

8*8 inches

Sample Fixing Method

natural placement

Light Source

backlight, upper light source

Microscope Characteristics

Travel

mirror body fixed, Z-axis travel: 50mm

CCD Pixel

50W(analog)/200W(digital)/500W(digital)

Eyepiece

10X eyepiece

Objective Lens

5X, 10X, 20X, 50X (optional), 100X (optional)

Objective Lens Turntable

manual nose wheel

Laser Characteristics

Wavelength

optional wavelength: 1064/532/355/266nm band

Energy

output power: 2.2mJ/pulse

Micromachining Capability

machinable materials: Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/mpurities in CF, etc.

Processing Accuracy

minimum process accuracy 1*1μm (when equipped with 100X lens)

Cooling Method

air-cooled laser/water-cooled laser


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